Análise do objeto de processamento
Material: vidro de quartzo de grau óptico
Recursos de processamento: retificação de contornos de múltiplas-superfícies (incluindo 3 facetas assimétricas)
Dimensões principais: 16×16×10mm (erro ±0,002mm)
Esse prisma de quartzo, que tem apenas o tamanho de uma unha, é o principal elemento-guia de luz do sistema óptico de uma máquina litográfica doméstica-de última geração. Suas 8 superfícies curvas complexas precisam atingir 99,6% de transmitância e precisão de refração de nível nanométrico, e a rugosidade da superfície afeta diretamente a resolução de exposição da máquina de litografia.
Pontos problemáticos da indústria e dificuldades técnicas
Uma empresa de tecnologia óptica encontrou um gargalo no processamento de prismas de quartzo ao promover a localização de máquinas de litografia:
Defeitos de retificação tradicionais: A rugosidade após o polimento manual ainda atinge Sa 120nm, resultando em 15% de perda de dispersão de luz
Dependência de equipamentos de importações: O custo de um único moedor japonês de ultra-precisão excede 20 milhões de yuans e o período de entrega chega a 18 meses
Crise de rendimento: Apenas 32 do primeiro lote de 500 produções experimentais atenderam aos padrões, prejudicando seriamente o progresso do projeto
O dilema de "não ter recursos para equipamentos importados e os processos nacionais não são bons" bloqueou diretamente o processo de desenvolvimento independente de máquinas de litografia.
BISHENsolução de soluções
Em resposta aos requisitos de extrema precisão dos componentes ópticos, a equipa técnica da BISHEN desenvolveu investigação e desenvolvimento inovadores:
1. Sistema ultrassônico de processamento de ligação de cinco eixos verticais-
Compensação dinâmica de nível 2. 0.1μm-, controle preciso de máquinas-ferramentas com articulação de 18 eixos
3. Programação inteligente CAD/CAM de superfície assimétrica correspondente
4. Tecnologia de retificação assistida por ultrassom de alta-frequência
A vibração ultrassônica de 5. 40kHz reduz 52% da tensão de corte e evita microfissuras de quartzo
6. A vida útil do rebolo de micro{1}}diamante em pó é estendida em 3 vezes
Salto real de desempenho medido
Três grandes avanços foram alcançados na produção em massa de um certo tipo de prisma de máquina de litografia doméstica:
1. Qualidade da superfície: Rugosidade Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Eficiência de processamento: horas de trabalho de peça única são comprimidas de 14 horas para 3,5 horas
3.Controle de custos: O investimento em equipamentos representa apenas 1/5 da solução importada
A taxa de rendimento do primeiro lote de 3.000 produtos saltou para 98,7%, ajudando os clientes a concluir a montagem dos protótipos 6 meses antes do previsto
sobreBISHEN
BISHENA Precision Technology (fundada em 2017) se concentra em romper o "gargalo" tecnológico no campo da fabricação-de ponta. Ela construiu uma fábrica digital de 7.500 metros quadrados em Dongguan, equipada com conjuntos de equipamentos importados, como centros de usinagem de articulação de cinco eixos e retificadoras ópticas de ultra{6}}precisão. Ao aplicar tecnologias inovadoras, como usinagem ultrassônica e corte criogênico a equipamentos semicondutores, instrumentos optoeletrônicos e outros campos, forneceu soluções importantes de processamento de peças para mais de 20 empresas nacionais da cadeia da indústria de máquinas de litografia e entregou mais de 500.000 componentes ópticos de precisão.
