Estudo de caso: Avanço no processamento de substrato de vidro de quartzo
Objeto de processamento: substrato de vidro de quartzo para fotolitografia
Especificações:
Material: 99,99% de vidro de quartzo de alta-pureza
Recursos de processamento: chanfro-dupla face C0.2 + parede lateral vertical
Requisitos de superfície: Ra < 150 nm (grau de espelho)
Dimensões: 145×145×5,5mm±0,01mm
Análise dos pontos problemáticos do processamento da indústria
Como principais consumíveis de equipamentos de fabricação de semicondutores, as peças de quartzo para fotolitografia precisam atender a três padrões rígidos ao mesmo tempo: transmitância do material> 99,6%, tolerância dimensional ± 10 μm e rugosidade da parede lateral Ra < 150 nm. O método de processamento tradicional utiliza o processo de retificação de rebolo, que apresenta dois grandes problemas industriais:
Gargalo de eficiência: o processamento-de peça única leva até 120 minutos
Defeitos superficiais: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Perda de ferramenta: a vida útil normal da ferramenta é inferior a 50 peças
BISHENsoluções tecnologia inovação
Tendo em conta as características duras e quebradiças dos materiais de quartzo, um compósitosolução de processamentoé adotado:
• Sistema ultrassônico de gravação e fresagem de precisão de 20kHz
• Fresa de micro{0}lâmina PCD integral (borda R0,05mm)
• Processo de corte em camadas axial (2μm por camada)
Comparação das vantagens de processamento medidas
Através da verificação e comparação de processos, os principais indicadores foram significativamente melhorados:
Valor de aplicação na indústria
Esta solução resolveu com sucesso o problema de processamento de "gargalos" no processo de localização de peças de máquinas de litografia, aumentando a capacidade de produção de substrato de quartzo de 10 peças por dia para 50 peças e a taxa de qualificação de processamento de 63% para 98,5%. De acordo com a detecção do interferômetro a laser Zeiss, o valor PV da precisão da superfície de processamento é<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
SobreBISHEN
Precisão Bishené especializada no processamento de peças de hardware de precisão, com 7.500 metros quadrados de oficinas padronizadas, e seus serviços abrangem a indústria aeroespacial, equipamentos médicos, robôs industriais e outras áreas. Com a capacidade de processar peças estruturais complexas e a certificação do sistema ISO, ela oferece aos clientes soluções-completas de processos, desde o projeto e desenvolvimento até a produção em massa.
