Na fabricação de equipamentos semicondutores,recursos em micro{0}}escala, como orifícios de resfriamento, canais de vácuo ou microconduítes de fluido-não são opcionais-eles são de missão-crítica. Estas pequenas estruturas exigemextrema precisão, bordas limpas e consistência, geralmente abaixo de 100 mícrons de diâmetro.
Por que a precisão do micro-furo é importante
Microcanais são essenciais em partes como:
Placas frias e dissipadores de calor
Conjuntos ópticos e cabeças de laser
Portas de vácuo do mandril wafer
Componentes de RF de alta-frequência
Mesmo o menor desvio no diâmetro, no alinhamento ou na qualidade da superfície pode atrapalhar a dissipação de calor, a vedação a vácuo ou a dinâmica dos fluidos-comprometendo, em última instância, o desempenho do sistema.
O desafio da usinagem CNC
A usinagem de micro-furos apresenta dificuldades únicas:
Fragilidade da ferramentadurante corte em alta-velocidade
Risco deformação de rebarbas ou micro-fissuras
Problemas de evacuação de chipslevando ao entupimento
Distorção térmicadurante operações prolongadas
Por exemplo, durante a usinagemcanais de micro{0}dissipação de calor em uma placa fria semicondutora, uma rebarba ou desvio de formato de apenas alguns mícrons pode diminuir a condutividade térmica e afetar a estabilidade do sistema.
Como lidamos com isso
NoPrecisão BISHEN, combinamoscontrole de fuso-de alta velocidade, ferramentas de micro-diâmetro, eestratégias CAM adaptativaspara garantir:
A redondeza e a conicidade do furo estão dentro de tolerâncias restritas
Acabamentos-sem rebarbas e sem processos secundários
Controle de vários-eixos para microrecursos profundos ou angulares
Ar em linha-opcional ou descarga ultrassônica para remoção de cavacos
Resultados comprovados
Para um cliente recente de semicondutores, entregamosplacas de dissipador de calor de alumíniocom mais de 500 microfuros, cada um menor ou igual a 0,2 mm de diâmetro, dentro da tolerância de ±5 μm e Ra menor ou igual a 0,2 μm. As peças passaram na validação de-selagem a vácuo e condutividade-térmica sem retrabalho.
Vamos falar sobre seus micro detalhes
A precisão no nível micro separa sistemas-de alto desempenho dos instáveis. Se suas peças exigiremmicro-furos ou canais de precisão perfeitos, estamos prontos para ajudar-da prototipagem à produção em massa.
